定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
环境的影响: 环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染, 在钢液处置过程中, 钢液会放出很多的气体, 一起也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵, 这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导, 延长了抽气时刻, 下降了泵的抽气功能。经过长时间的理论探索, 咱们以为对泵的功能影响较大的主要有: 内走漏、蒸汽的影响、泵的布局的影响。
以上信息由专业从事小型真空泵厂家的陕西屹达于2024/4/21 11:45:52发布
转载请注明来源：http://luohe.mf1288.com/eida2016-2739428363.html
